真空測量
真空室內光譜測量需要兩個過真空裝置，分別配合200微米和600微米芯徑光纖使用，同時真空室內需要一根反射探頭，室外需要一臺氘鹵鎢組合光源以及一臺 AvaSpec 光譜儀，可以搭建一套真空測量設備。
典型應用領域
鍍膜監控
等離子體監控
等離子體監控
訂購信息
AvaSpec—Vacuum
光譜儀 | AvaSpec-ULS2048CL-EVO | UA光柵 (200-1100nm), 50 μm狹縫 OSC-UA, DCL-UV/VIS-200 |
光源 | AvaLight-DH-S-BAL | |
光纖 | FCR-7UV200-2-ME FC-UVIR200-2-ME | |
附件 | FC-VFT-UVIR200 FC-VFT-UVIR600 | |